A piezoresistive pressure sensor with a beam-membrane-dual-island structure is developed for micro-pressure monitoring in the field of aviation, which requires great sensitivity and overload resistance capacity. The design, fabrication, and test of the sensor are presented in this paper. By analyzing the stress distribution of sensitive elements using the finite element method, a novel structure incorporating sensitive beams with a traditional bossed diaphragm is built up. The proposed structure proved to be advantageous in terms of high sensitivity and high overload resistance compared with the conventional bossed diaphragm and flat diaphragm structures. Curve fittings of surface stress and deflection based on ANSYS simulation results are performed to establish the sensor equations. Fabricated on an n-type single crystal silicon wafer, the sensor chips are wire-bonded to a printed circuit board (PCB) and packaged for experiments. The static and dynamic characteristics are tested and discussed. Experimental results show that the sensor has a sensitivity as high as 17.339 μV/V/Pa in the range of 500 Pa at room temperature, and a high overload resistance of 200 times overpressure. Due to the excellent performance, the sensor can be applied in measuring micro-pressure lower than 500 Pa.
from #Medicine via ola Kala on Inoreader http://ift.tt/1QCFH5G
via IFTTT
Αρχειοθήκη ιστολογίου
-
►
2023
(138)
- ► Φεβρουαρίου (74)
- ► Ιανουαρίου (64)
-
►
2022
(849)
- ► Δεκεμβρίου (61)
- ► Σεπτεμβρίου (74)
- ► Φεβρουαρίου (65)
-
►
2021
(2936)
- ► Δεκεμβρίου (59)
- ► Σεπτεμβρίου (180)
- ► Φεβρουαρίου (325)
-
►
2020
(1624)
- ► Δεκεμβρίου (293)
- ► Σεπτεμβρίου (234)
- ► Φεβρουαρίου (28)
-
►
2019
(13362)
- ► Δεκεμβρίου (19)
- ► Σεπτεμβρίου (54)
- ► Φεβρουαρίου (5586)
- ► Ιανουαρίου (5696)
-
►
2018
(66471)
- ► Δεκεμβρίου (5242)
- ► Σεπτεμβρίου (5478)
- ► Φεβρουαρίου (4835)
- ► Ιανουαρίου (5592)
-
►
2017
(44259)
- ► Δεκεμβρίου (5110)
- ► Σεπτεμβρίου (5105)
-
▼
2016
(7467)
- ► Δεκεμβρίου (514)
- ► Σεπτεμβρίου (1038)
-
▼
Μαρτίου
(699)
-
▼
Μαρ 09
(21)
- Burden of disease and patient-reported outcomes in...
- Nutrients, Vol. 8, Pages 150: Clinical Evaluation ...
- IJERPH, Vol. 13, Pages 302: Meta-Analysis of Cardi...
- IJGI, Vol. 5, Pages 29: Extracting Stops from Nois...
- Nanomaterials, Vol. 6, Pages 45: Atomic Layer Depo...
- Materials, Vol. 9, Pages 182: Imaging Water Thin F...
- Sinusitis, Vol. 1, Pages 44-48: Chronic Rhinosinus...
- Cardiorespiratory fitness and cognitive functionin...
- The psychometric properties of the Turkish Stroke ...
- IJMS, Vol. 17, Pages 349: MicroRNAs in Osteoclasto...
- IJMS, Vol. 17, Pages 349: MicroRNAs in Osteoclasto...
- Sustainability, Vol. 8, Pages 250: Weighing Effici...
- Sensors, Vol. 16, Pages 348: The Design and Optimi...
- Energies, Vol. 9, Pages 175: Optimal Power Managem...
- Information, Vol. 7, Pages 12: CoSpa: A Co-trainin...
- Computed Tomographic Pulmonary Angiographic Findin...
- Association of Quadriceps Muscle Fat With Isometri...
- Multiphase Multi-Detector Row Computed Tomography ...
- Utility of MDCT MIP Postprocessing Reconstruction ...
- Evaluating the Microcirculation of Normal Extraocu...
- Intravoxel Incoherent Motion Diffusion Weighted Ma...
-
▼
Μαρ 09
(21)
- ► Φεβρουαρίου (793)
Αναζήτηση αυτού του ιστολογίου
Τετάρτη 9 Μαρτίου 2016
Sensors, Vol. 16, Pages 348: The Design and Optimization of a Highly Sensitive and Overload-Resistant Piezoresistive Pressure Sensor
Εγγραφή σε:
Σχόλια ανάρτησης (Atom)
-
Αλέξανδρος Γ. Σφακιανάκης Medicine by Alexandros G. Sfakianakis,Anapafseos 5 Agios Nikolaos 72100 Crete Greece,00302841026182,0030693260717...
-
heory of COVID-19 pathogenesis Publication date: November 2020Source: Medical Hypotheses, Volume 144Author(s): Yuichiro J. Suzuki ScienceD...
-
https://ift.tt/2MQ8Ai8
Δεν υπάρχουν σχόλια:
Δημοσίευση σχολίου
Σημείωση: Μόνο ένα μέλος αυτού του ιστολογίου μπορεί να αναρτήσει σχόλιο.